Τη δυνατότητα να μειώσουν τις διαστάσεις δυνατότητα με βάση το πυρίτιο τρανζίστορ επέτρεψε η βιομηχανία ημιαγωγών να ενισχύσει την απόδοση, να αυξήσει την ταχύτητα και μείωση των τιμών των ολοκληρωμένων κυκλωμάτων για το παρελθόν 55 ετών. Στα τέλη της δεκαετίας του 1960, ο Gordon Moore προέβλεψε ότι θα διπλασιαστεί την πυκνότητα τρανζίστορ για ένα ολοκληρωμένο κύκλωμα κάθε 18 μήνες (νόμος του Μουρ). , Η βιομηχανία ημιαγωγών μέχρι τώρα σε θέση να ακολουθήσει νόμος του Μουρ, ενισχύοντας τα χαρακτηριστικά ψήφισμα η φωτολιθογραφία εργαλεία. a η φωτολιθογραφία εργαλείο είναι ένα οπτικό σύστημα ότι τα σχέδια της εικόνας του μια μάσκα (που αντιπροσωπεύει ένα επίπεδο ένα ολοκληρωμένο κύκλωμα) σε μια γκοφρέτα που έχει έχουν επικάλυψη με ένα φως ευαίσθητα υλικό (resist). Μετά την έκθεση, αναπτύχθηκε το resist για να αποκαλύψετε ένα μοτίβο, το οποίο μεταφέρεται στην επιφάνεια την γκοφρέτα του μέσω χαλκογραφία τεχνικές. Ημιαγωγών αναλυτές εικάζουν ότι μέχρι το 2010 η φωτολιθογραφία εργαλεία με πηγές φωτός 157-nm θα προσέγγιση τους ψήφισμα θεωρητικό όριο (120 nm).